檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "楊宏智".ccommittee (精準) and year="101"
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本研究主要在建構用於化學機械平坦化拋光之拋光墊表面形貌分析,自行研發設計一款雷射共軛焦三維表面形貌掃描儀,並開發對拋光墊形貌分析之專用程式。主要方法為將雷射共軛焦儀架設於龍門線性馬達平台,回授平台X…
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五軸NC加工機比三軸NC加工機多了兩個旋轉軸,因此在加工時除了線性軸移動之外,還可以有兩個軸在旋轉,使得它的複雜度大幅增加。五軸加工機不但適用於具有高複雜度及高精密度的零件加工,在業界更被公認為是提…